반도체용 압력센서
FA1M1A
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Specifications
Pressure range
0.1 Torr / 1 Torr / 10 Torr / 1,000 Torr
Proof pressure
3,375 Torr
Burst pressure
6,750 Torr
Accuracy
±0.25% of Reading (1 Torr 미만 구간은 0.5%)
Operating temperature
0°C ~ 100°C
Supply voltage
15 Vdc ± 5%
Supply current
600 mA (max.)
Sensor output
아날로그 0 ~ 10 Vdc
Fitting Type
NW / Bare Tube / VCR / Flange Type
Description
반도체용 진공 압력센서 (Vacuum Sensor for Semiconductor machine)는 반도체 제조 공정, 분석 장비, 산업용 진공 시스템을 위해 개발된 압력 센서입니다. 고진공 (0.1 Torr부터) 영역부터 1,000 Torr까지의 넓은 진공 범위에서 안정적이고 반복성이 높은 측정 성능을 제공합니다. 다양한 반도체 공정 및 고도화된 산업 장비에 폭넓게 적용할 수 있습니다.
Features
- 아날로그 출력(전압)
- 측정 범위: 0.1 / 1 / 10 / 1,000 Torr
- 정확도: ±0.25% of Reading (1 Torr 미만 구간은 0.5%)
Application
반도체 제조 공정, 분석 장비, 산업용 진공 시스템, 의료용 장비 등
적용 사례 1
